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国仪量子推出分辨率达2.5纳米商用钨灯丝扫描电镜

2022年11月25日 20:10 来源:中新网安徽

  中新网安徽新闻11月24日电 (记者吴兰)24日,国仪量子推出一款商用钨灯丝扫描电镜。据悉,该台商用钨灯丝扫描电子显微镜分辨率达2.5纳米。

  电子显微镜利用电子和物质的相互作用,可以获取被测样品本身的各种物理、化学性质,如形貌、成份、结构等信息,是材料研究、质量控制与失效分析等领域应用的强大工具。作为一种应用广泛的高端科学仪器,我国扫描电镜长期以来被进口品牌垄断,国产扫描电镜在技术与产品性能上与国外品牌存在差距。

  钨灯丝扫描电镜具有性价比高、易于维护、操作相对简单以及对场地要求较小等特点,便于大众使用。但长期以来,钨灯丝扫描电镜的分辨率都停滞不前,难以实现用户对更高分辨率的追求。

  技术团队针对这一技术瓶颈开展了科研攻关,通过分析限制钨灯丝扫描电镜分辨率的主要因素,开创了在镜筒内增加一根从阳极直达物镜极靴的10kV高压管(高压隧道技术)的解决方案,并实现了在所有电压段的分辨率均大幅度超越普通钨灯丝电镜。SEM3300在20kV分辨率达到2.5 nm,比普通钨灯丝电镜提高了16%。

  同时,国仪量子还推出了钨灯丝扫描电镜SEM2000和场发射扫描电镜SEM4000。

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